福建华佳彩取得光罩尺规结构专利，方便检测曝边工艺是否异常
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2024-12-28 17:18:00
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金融界2024年12月28日消息，国家知识产权局信息显示，福建华佳彩有限公司取得一项名为“一种光罩的尺规结构”的专利，授权公告号 CN 222213193 U，申请日期为 2024年4月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种光罩的尺规结构，涉及光罩技术领域。所述光罩的每一条边的两端设置有两个尺规区域，每一尺规区域包括至少一条尺规图形，每一尺规图形包括刻度基线、位于刻度基线中部的曝光区域图形、位于刻度基线两侧的非曝光区域图形以及曝光刻度值，所述曝光区域图形的位置根据光罩所对应的产品的制程工艺所确定的目标曝光区域范围设置，所述曝光区域图形与非曝光区域图形区别设计。通过区别设计曝光区域图形与非曝光区域图形，测试人员检测尺规时，眼睛只需要找寻曝光区域图形，并不需要数据比对，大脑立马可以判定曝边工艺是否异常，因为大脑对于图像辨识速度远比数据比对的速度快。
来源：金融界
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